六氟化硫氣體檢測儀基于紅外吸收光譜原理的紅外分光光度法來對SF6氣體進行分析檢測，利用物質對紅外電磁輻射的選擇吸收特性，來對物質進行定性定量分析，因為光輻射在氣體中傳播時氣體分子會對光輻射檢測吸收，散射而衰減，因此利用氣體在某一特定區域波段的吸收特性可以實現對該氣體檢測。該儀器具有靈敏度高、穩定性好、響應速度快、操作簡便、移動范圍大、可迅速、準確地定性和定量檢測SF6斷路器和GIS的泄漏點和年泄漏率。
六氟化硫氣體檢測儀進行檢測的方式主要有以下幾種：
壓降檢測方式：在密封的工件內中充入一定壓力的氣體，經過一段時間保壓(2-5秒)，檢測壓力是否下降，觀察計算壓力變化來判斷產品是否有泄漏(全過程5-25秒)。此方法氣密性檢測儀配套工裝夾具通用性*，可以適用于半密封產品和全密封產品。還可以在半密封的工件內部抽氣成負壓來檢測產品時候有泄漏。壓降方式效率高、通用性強、檢出率高、無損檢測。其中多通道氣密性檢測儀可以一次同時檢測多個產品，這是目前主流的氣密性檢測儀檢測方式。
差壓氣密性檢測方式：也叫比較法，需要一個標準無泄漏的產品。原理在密閉的待測品內通入一定壓力的氣體，同時在一個標準品內通入同樣壓力的氣體，靜止一段時間，觀察標準罐體內的壓力與工件內的壓力差從而判定產品是否泄漏。此氣密性檢測儀檢測方式檢測精度高，但是通用性不強，需要兩個工裝，檢測成本與壓降型相對高一倍，因此市場上主流的氣密性檢測儀檢測方式是壓降型，并集成了正負壓檢測能力的氣密性測試儀得到了廣泛應用及發展。
氣泡檢測方式：在密封的產品內部注入一定壓力的氣體，然后將產品侵入水或者其他液體中，觀察是否有氣泡漏出，或者在產品表面涂抹泡沫液或者肥皂水看是否有氣泡產生。
